Особенности проектирования тонкопленочных датчиков температуры
Электроника
Abstract
Рассматриваются особенности проектирования датчиков температуры в рамках выполнения темы “Разработка и проектирование технологических процессов изготовления платиновых тонкопленочных датчиков температуры для использования в датчиках давления” при финансовой поддержке Государственного комитета по науке Министерства образования и науки Республики Армения под шифром “13Ap-2K014”. Для высокоточных измерений температуры применяются платиновые тонкопленочные датчики температуры, которые характеризуются долгосрочной стабильностью работы, высокой точностью и способностью работать в широком температурном диапазоне (-200...10000С). Рассмотрены требования к используемым материалам, а также факторы, которые должны быть учтены при разработке датчиков температуры. Приведена топология датчика температуры.
