Сравнительный анализ основных методов измерения температур в технологических установках для производства полупроводниковых приборов
Измерения, контроль, диагностика
Keywords:
измерение температуры, датчики, термисторы, термопары, температурный коэффициент, мост Уинстона.
Abstract
Исследуются различные методы измерения температур, которые могут быть использованы в разных технологических установках, проведен их сравнительный анализ и даны рекомендации по использованию наиболее распространенных типов термопар. Рассмотрены способы измерения температуры, в частности, на базе термисторов и термопар. Получены оценочные выражения выходного напряжения в зависимости от температуры термисторных датчиков. Проанализирована схема датчика для измерения температуры в узком диапазоне изменения и получены графические зависимости выходного напряжения в функции от измеряемой температуры.
