ВОЗМОЖНОСТИ КОМБИНИРОВАНИЯ РЕЗИСТОМЕТРИИ И ИНФРАКРАСНОЙ ФУРЬЕ-СПЕКТРОСКОПИИ В КОНТРОЛЕ ФОРМИРОВАНИЯ КОМПАКТИРОВАННЫХ МЕТАЛЛ-ОКСИДНЫХ, КАМЕННЫX, ГРАНИТНЫX И МРАМОРНЫX НАНОКОМПОЗИТОВ
МЕТРОЛОГИЯ
Keywords:
инфракрасная Фурье-спектроскопия, резистометрия, гравиметрия, наноструктурированные, металлоксидные покрытия.
Abstract
Комбинацией методов инфракрасной Фурье-спектроскопии отражения, резистометрии и гравиметрии осуществлен контроль свойств наноструктурированного металл-оксидного покрытия, полученного реактивным распылением в вакууме и последующим низкотемпературным окислением в воздушной атмосфере при 50 °С . Это позволяет получать контролируемые по составу и толщине металлоксидные покрытия с важными для практического использования функциональными свойствами.
