ИССЛЕДОВАНИЕ ОСТАТОЧНЫХ МИКРОНАПРЯЖЕНИЙ В МОНОКРИСТАЛЛАХ Si С РЕНТГЕНОИНТЕРФЕРОМЕТРИЧЕСКИМ МЕТОДОМ
ХИМИЯ
Keywords:
лазерное облучение, радиационные остаточные микронапряжения, маятниковые полосы.
Abstract
Экспериментально обнаружены остаточные микронапряжения в монокристалле кремния с помощью рентгеноинтерферометрического метода маятниковых полос. Из рентгенограмм, полученных после лазерного облучения, оценены относительные деформации кристаллической решетки.
